什么是扫描电子显微镜？
扫描电子显微镜（SEM）是一种高分辨率的电子显微镜，它使用高能电子束来照射样品表面，然后测量被打出的反射电子以生成高分辨率图像。相比于其他显微镜，扫描电子显微镜有哪些优缺点呢？
扫描电子显微镜的优点
1. 高清晰度：扫描电子显微镜是一种高分辨率的显微镜，具有极高的细节能力和清晰度。这使得使用扫描电子显微镜可以观察到非常微小的样品结构和特征。
2. 高精度：由于电子显微镜可以在更高的放大倍率下工作，因此可以获得比光学显微镜更高的精度和准确性。
3. 非破坏性：与其他成像技术相比，扫描电子显微镜是非破坏性的，因为使用电子束不会对样品产生任何热或化学效应。这意味着您可以研究不同条件下的同一样品，而无需对其进行破坏性测试。
扫描电子显微镜的缺点
1. 昂贵：扫描电子显微镜是一种高端技术，因此价格昂贵。一台扫描电子显微镜可能会花费几十万到几百万美元。
2. 变形：扫描电子显微镜使用电子束照射样品表面，因此样品可能会受到变形，从而影响成像结果。
3. 预处理：为了能够在扫描电子显微镜下进行成像，样品必须进行预处理。这可能会涉及到特殊的处理和样品准备步骤，从而增加了样品制备的难度。
扫描电子显微镜的三个主要参数
1. 加速电压：加速电压是电子束加速的电压。扫描电子显微镜的加速电压通常在0.1到30千伏之间。较低的加速电压可用于较小的样品，然而较高的加速电压可以提供更高的分辨率和更深入的成像。
2. 检测器：检测器负责收集反射电子并将其转换为图像。扫描电子显微镜通常有两种类型的检测器：二极管（SE）检测器和反向散射（BSE）检测器。SE检测器在高分辨率成像和成像被分解时很有用，而BSE检测器可以提供更好的深度信息和成像比较高密度的样品。
3. 解像度：扫描电子显微镜的分辨率取决于电子束的能量和焦距。其解像度通常在0.5至5纳米之间。越高的解像度意味着显微镜可以更精确地测量更小的样品，但也需要更长的成像时间。
总之，扫描电子显微镜是一种非常强大和有用的成像工具，具有高分辨率，高精度和非破坏性。然而，使用扫描电子显微镜需要对样品进行复杂的预处理和准备，并且设备本身也很昂贵。
